Développement d'un détecteur STEM-in-SEM pixellisé pour la caractérisation de microstructures
Development of a Pixelated STEM-in-SEM detector for microstructural feature characterization
Jury
Directeur de these_BOUZY_Emmanuel_Université de Lorraine
CoDirecteur de these_GUITTON_Antoine_Université de Lorraine
Rapporteur_LANGLOIS_Cyril_INSA Lyon
Rapporteur_OVEISI_Emad_EPFL
Examinateur_JOULAIN_Anne_Université de Poitiers
Examinateur_ZHANG_Yudong_Université de Lorraine
Examinateur_RAUCH_Edgar_Université Grenoble Alpes
école doctorale
C2MP - CHIMIE MECANIQUE MATERIAUX PHYSIQUE
Laboratoire
LEM3 - Laboratoire d Etude des Microstructures et de Mécanique des Matériaux
Mention de diplôme
Sciences des Matériaux
Auditorium Bernard Bolle
Ecole Nationale d'Ingénieurs de Metz
Auditorium Bernard Bolle
1 Route d'Ars Laquenexy
57078 Metz
Mots clés
Microscopie électronique,Faible énergie d'électron,Matrice de micro-miroirs,STEM-in-SEM,On-Axis TKD,Caractérisation de microstructures
Résumé de la thèse
La microscopie électronique est essentielle pour l'analyse des micro- et nanostructures, permettant aux scientifiques de comprendre et de prédire les performances des matériaux. Le microscope électronique en transmission (TEM) et le microscope électronique à balayage (SEM) sont deux instruments complémentaires qui fournissent respectivement des informations à l'échelle micro/nano et macro/méso.
Keywords
Electron microscopy,Low electron energy,Digital Micromirror Device,STEM-in-SEM,On-Axis TKD,Microstructure characterization
Abstract
Electron microscopy is crucial for analyzing micro- and nanostructures, aiding scientists in understanding and predicting materials' performance. Transmission electron microscopes (TEM) and scanning electron microscopes (SEM) are two complementary instruments that respectively provide information at the micro/nanoscale and the macro/mesoscale. In parallel, biologists have employed scanning transmission electron microscopy in a scanning electron microscope (STEM-in-SEM) technique to analyze specimens with low electron energies (30 keV or below).
