Transferts et métrologie thermiques de nano-objets semi-conducteurs par microscopie thermique à balayage
Heat transfer and metrology of nanoscale objects by scanning thermal microscopy
Jury
Directeur de these - LACROIX - David - Université de Lorraine
CoDirecteur de these - PERNOT - Gilles - Université de Lorraine
Rapporteur - GOMèS - Séverine - UMR INSA Lyon-UCBL-CNRS 5008
Rapporteur - HORNY - Nicolas - Université de Reims -UFR Sciences Exactes et Naturelles
Examinateur - GRAUBY - Stéphane - Université Bordeaux 1
Examinateur - PARENT - Gilles - Université de Lorraine
école doctorale
SIMPPÉ - SCIENCES ET INGENIERIES DES MOLECULES, DES PRODUITS, DES PROCEDES ET DE L'ÉNERGIE
Laboratoire
LEMTA Laboratoire d Energétique et de Mécanique Théorique et Appliquée
Mention de diplôme
Énergie et Mécanique
Présidence Brabois Amphi Gallé
2, avenue de la Forêt de Haye
54518 Vandoeuvre-lès-Nancy Cedex
Mots clés
Conductivité thermique,nanomatériaux,transfert de chaleur,microscopie thermique,nanothermique,métrologie thermique,
Résumé de la thèse
Ce travail de thèse porte sur l'étude du transport de chaleur dans les nanomatériaux par microscopie thermique à balayage (SThM). Cette technique est utilisée pour la caractérisation des propriétés thermiques des matériaux et des microstructures à une échelle sub-micrométrique. Cependant, l'obtention de mesures quantitatives, de la conductivité thermique des matériaux sondés, demeure un challenge. Les difficultés à mettre en oeuvre cette technique proviennent de la complexité des phénomènes physiques à l'interface entre la sonde et l'échantillon à ces échelles.
Keywords
Thermal conductivity,Heat transfer,Nano-objects,
Abstract
This PhD-thesis work focuses on the study of heat transport in nanomaterials by scanning thermal microscopy (SThM). This technique is used to characterize the thermal properties of materials and microstructures at a sub-micrometric scale. However, obtaining quantitative measurements of the thermal conductivity of the probed materials often remains a challenge. Difficulties in implementing this technique arise from the complexity of the physical phenomena at the interface between the probe and the sample at these scales.
